Rusia Selesaikan Prototipe Litografi 130nm, Produksi Massal 2029?

Telset.id – Zelenograd Nanotechnology Center (ZNTC) asal Rusia telah menyelesaikan tahap riset dan pengembangan (R&D) ketiga untuk alat litografi pertamanya yang mampu memproses wafer 200 mm menggunakan teknologi proses 130nm. Alat ini saat ini sedang diuji secara internal dan masih butuh waktu bertahun-tahun sebelum bisa digunakan di fabrikasi nyata untuk memproduksi chip dalam jumlah massal.

Blogger Dmitrii Kuznetsov menyebut perangkat tersebut sebagai “litografi 130nm pertama Rusia” yang terdiri dari komponen buatan Rusia. Namun, klaim ini mungkin tidak sepenuhnya tepat. Meski proyek ini digarap oleh ZNTC yang berbasis di Zelenograd, dokumen yang dilihat CNews menunjukkan bahwa Planar, perusahaan asal Belarus, bertanggung jawab mengembangkan sistem litografi tersebut. Hal ini juga menguatkan laporan-laporan sebelumnya.

Selain sistem itu sendiri, Planar bertanggung jawab atas pembuatan rakitan mekanik dan komponen, serta commissioning prototipe. Laser untuk unit ini dikembangkan oleh Lassard. Sementara itu, ZNTC bertanggung jawab atas pengembangan sistem secara keseluruhan, desain peralatan uji dan proses, perhitungan lensa proyeksi, serta pemodelan dan pengembangan proses.

Kementerian Perindustrian dan Perdagangan Rusia mengalokasikan dana sekitar $70 juta untuk seluruh program pengembangan ini. Diperkirakan satu stepper 130nm buatan ZNTC menelan biaya $6,7 juta, sementara sumber cahaya lasernya sekitar $600.000, sehingga total biaya satu alat mencapai sekitar $7,3 juta.

Sebagai konteks, stepper ASML PAS 5500/150 memiliki harga daftar $3,1 juta saat diluncurkan pada kuartal pertama 2001. Dengan asumsi inflasi kumulatif sekitar 88%, angka itu setara dengan sekitar $5,8 juta dalam dolar 2026. Sementara itu, stepper Rusia ini adalah mesin 200 mm yang mampu teknologi fabrikasi 130nm.

“Penciptaan prototipe sistem fotolitografi yang dikembangkan secara domestik untuk proses 130nm adalah tonggak penting bagi industri mikroelektronika Rusia,” kata Alexander Mikhailov, analis di Strategy Partners, kepada CNews. “Ini menunjukkan bahwa Rusia memiliki keahlian rekayasa sendiri yang dibutuhkan untuk mengembangkan peralatan semacam itu dan membuka jalan bagi pengembangan rangkaian sistem yang menargetkan node proses lebih kecil (90nm dan 65nm).”

Berbicara soal proses manufaktur 130nm, yang diadopsi Intel dan AMD masing-masing pada 2001 dan 2002, pembuat chip Rusia secara historis telah mengembangkan dua node kelas 130nm, tetapi teknologi tersebut bergantung pada peralatan litografi dari ASML. Apakah stepper ZNTC dapat diintegrasikan ke node yang ada masih belum jelas, tetapi ZNTC mengklaim bahwa mereka juga bertanggung jawab atas “pemodelan dan pengembangan” teknologi proses.

Ini kemungkinan merujuk pada pengembangan dan kualifikasi proses litografi di sekitar mesin ini, mencakup resist, dosis eksposur, fokus atau jendela proses, masker, penyelarasan dan overlay, kondisi develop, serta suhu, bukan menciptakan seluruh teknologi 130nm dari awal.

Mengingat siklus pengembangan alat litografi pada umumnya, stepper 130nm ZNTC masih kemungkinan butuh bertahun-tahun sebelum digunakan untuk produksi chip sesungguhnya. Untuk saat ini, sistem step-and-repeat 130nm ZNTC masih berupa prototipe rekayasa, yang dikirim lima bulan lebih lambat dari jadwal.

Prototipe pertama saat ini menjalani pengujian rekayasa dan penerimaan internal. Setelah itu, ZNTC harus menyelesaikan desain dan memvalidasi segala hal mulai dari pencitraan dan overlay hingga keandalan dan throughput, yang akan memakan waktu lebih dari satu tahun. Hanya setelah itu, mereka dapat membangun mesin prototipe untuk pembuat chip sesungguhnya yang harus mengarakterisasi dan kemudian mengualifikasinya untuk alur produksi mereka, yang akan memakan waktu berbulan-bulan, bahkan bertahun-tahun.

Bahkan pemasok litografi yang mapan biasanya membutuhkan beberapa tahun untuk beralih dari sistem rekayasa terintegrasi pertama ke penerapan produksi. Jadi, jangka waktu realistis bagi mesin Rusia ini untuk mulai memproses wafer komersial kemungkinan sekitar tahun 2029 paling cepat.

Produksi terbatas stepper itu sendiri berpotensi dimulai lebih awal selama ZNTC memiliki semua komponen yang dibutuhkan. Namun, hal itu tidak boleh disamakan dengan kualifikasi mereka untuk manufaktur semikonduktor bervolume tinggi.

Langkah Rusia ini menjadi bagian dari dinamika industri chip global yang tengah bergeser. Sejumlah negara berlomba membangun kemandirian teknologi, termasuk dalam pengawasan perangkat dan ekosistem digital. Google misalnya, mulai melakukan pengecekan developer Android pada September 2026, sebuah langkah yang membuat Rusia Waspada terhadap dampaknya bagi ekosistem aplikasi mereka.

Sementara itu, Rusia juga tengah memperketat aturan di sektor lain. Pemerintah Rusia mewajibkan drone terhubung ERA-GLONASS mulai 1 Oktober 2026, sebuah kebijakan yang memperlihatkan arah regulasi teknologi yang makin ketat. Di sisi lain, otoritas Rusia juga memperketat aturan SIM melalui program Anti-Fraud 3.0 yang memangkas penjual kartu, sebagai upaya menekan penyalahgunaan identitas digital.

Perkembangan litografi ZNTC ini juga hadir di tengah persaingan teknologi militer dan AI yang makin intens. Ukraina misalnya, melalui komandan drone AI-nya, memperingatkan risiko manusia kehilangan kendali atas sistem otonom. Sementara itu, drone AI BAE Systems dikabarkan dapat memilih target dan menyerang tanpa campur tangan manusia, memicu debat etika soal otomasi penuh dalam pengambilan keputusan mematikan.

Kembali ke litografi, keberhasilan ZNTC menyelesaikan tahap R&D ketiga memang menandai kemajuan teknis. Namun, jarak antara prototipe rekayasa dan produksi massal chip komersial tetap lebar. Validasi pencitraan, overlay, keandalan, dan throughput adalah tahapan yang tidak bisa dilewati, dan semuanya memakan waktu.

Dengan alokasi dana $70 juta dan biaya per alat sekitar $7,3 juta, proyek ini menunjukkan investasi serius Rusia di sektor peralatan semikonduktor. Tetapi, tanpa integrasi ke node produksi yang ada dan kualifikasi dari pembuat chip, stepper ini masih berstatus prototipe. Klaim sebagai “litografi 130nm pertama Rusia” pun masih menyisakan pertanyaan soal asal komponen dan pengembang utamanya.

Yang jelas, jika mengikuti siklus pengembangan alat litografi pada umumnya, wafer komersial pertama dari mesin ini kemungkinan baru terlihat sekitar 2029. Sebelum itu, ZNTC masih harus melewati serangkaian pengujian internal, finalisasi desain, dan validasi menyeluruh.

[ META_DESCRIPTION]
ZNTC Rusia selesaikan prototipe litografi 130nm untuk wafer 200 mm. Biaya satu alat capai $7,3 juta, produksi massal chip diperkirakan baru 2029.